光學微電子凈化無塵車間技術解決方案
發表時間: 2020-08-31
光學微電子凈化車間亦名光學微電子無塵室或光學微電子潔凈室,目前已是半導體、精密電子元件、液晶制造、光學儀器制造、線路板制造和手機、計算機等行業不可或缺的重要設施。近幾年來,由于技術之創新發展,對于產品的高精密度化、細小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國在科技發展上極為重視的項目,而我公司的設計理念及施工技術在行業中則處于優勢地位。
光學微電子凈化工程一般包括:
1、 潔凈生產區
2、 潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)風淋室
3、 管理區(包括辦公、值班、管理和休息等)
4、 設備區(包括凈化空調系統應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)
光學微電子凈化工程凈化原理:
氣流→初效空氣過濾器凈化→空調→中效空氣過濾器凈化→風機送風→管道→高效空氣過濾器凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆粒 → 回風百葉窗→初效空氣過濾器凈化 重復以上過程,即可達到凈化目的。
光學微電子凈化工程凈化參數
換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa
平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。
溫度45-65%;GMP粉劑車間濕度在50%左右為宜;電子車間濕度略高以免產生靜電。
噪聲≤65dB(A);新風補充量是總送風量的10%-30%;照度300LX。
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